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CVD管式爐具有九大特點,您都知道幾點?

更新時間:2021-04-06    點擊次數:5950
  CVD管式爐由管式爐+真空系統+供氣系統組成,溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
 
  本產品采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。

 

  應用范圍:
  CVD管式爐是一種特殊的CVD系統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
 
  產品特點:
  1、采用K型熱電偶測溫,測溫準備;
  2、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構;
  3、采用石英管、兩端用不銹鋼法蘭密封;
  4、取放物料過程簡化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作;
  5、取消了復雜的法蘭安裝過程,減少了爐管因安裝造成損壞的可能;
  6、采用雙層殼體結構,內層為不銹鋼結構,外殼為碳鋼;
  7、雙層爐殼間配有風冷系統,能使爐體表面快速降溫,爐殼表面溫度小于60度;
  8、加熱爐膛由上下兩部分組成,其中上部爐膛可整體向后翻轉110°,方便取放、觀察實驗物料,爐膛材料采用進口高純氧化鋁多晶體纖維材料制成,節能50%,溫場均勻;
  9、加熱元件采用高電阻合金絲OCr27Al7Mo2,電阻絲位于爐膛四周,溫度均勻性高,溫場效果較好。
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